超精密加工的工作原理
材料去除：通过各种加工方法，如切削、磨削、蚀刻等，去除材料以形成所需的形状和结构
沉积：在基底上沉积一层或多层材料，以构建微机械结构
光刻：利用光刻技术将设计好的图案转移到光敏材料上，然后通过蚀刻或其他方法将图案转移到基底上
微成型：通过微注塑、微压铸等方法，将材料成型为微小的零件
组装：将各个微机械零件组装成完整的微机械系统
超精密加工的优点
高精度
能够达到微米甚至纳米级的加工精度。例如在制造微机电系统（MEMS）传感器时，可以精确地制造出微小的结构，像微加速度计中的微小悬臂梁，其尺寸精度对于传感器的性能至关重要。这种高精度加工可以保证产品在微观尺度下的尺寸准确性和形状精度，使微机械产品能够满足各种精密的应用需求。
小型化
高生产效率
多功能集成
良好的材料适应性
超精密加工材料
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金属制品
铝具有良好的导电性和导热性，在微电路的互连线和微热交换器中有应用。
非金属材料
氧化铝（Al₂O₃）：它具有高硬度、高熔点和良好的化学稳定性。在微机械加工中，用于制造耐高温、耐磨的微结构。例如在微切削刀具中，氧化铝陶瓷刀具可以用于加工一些硬度较高的材料，并且在高温环境下仍能保持较好的切削性能。
氮化硅（Si₃N₄）：氮化硅具有优异的机械性能和化学稳定性。在微机械密封件和微传感器的保护膜中应用广泛。它可以防止外界环境对传感器内部结构的侵蚀，同时在作为机械密封时，可以承受一定的压力并且耐磨。
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