Aluminium hat eine gute elektrische und thermische Leitfähigkeit und wird in Verbindungen von Mikroschaltungen und Mikrowärmetauschern verwendet.

Kupfer hat eine bessere Leitfähigkeit als Aluminium und hat eine bessere Duktilität. Kupfer ist ein ideales Material für Mikrostrukturen, die eine hohe Stromübertragung erfordern, wie Spulenwicklungen in Mikromotoren.

Goldbeschläge haben eine gute chemische Stabilität und Biokompatibilität. Wenn Mikrosensoren für die biologische Detektion oder Mikroelektroden für die elektrochemische Analyse verwendet werden, kann Goldbeschichtung Materialkorrosion verhindern und in biologischen Umgebungen keine unerwünschten Reaktionen verursachen.

Aluminiumoxid (Al ₂ O3): Es hat eine hohe Härte, einen hohen Schmelzpunkt und eine gute chemische Stabilität. In der Mikrobearbeitung werden Mikrostrukturen hergestellt, die gegen hohe Temperaturen und Verschleiß beständig sind. Beispielsweise können in Mikroschneidwerkzeugen Aluminiumoxidkeramikwerkzeuge verwendet werden, um Materialien mit höherer Härte zu verarbeiten und eine gute Schneidleistung in Hochtemperaturumgebungen aufrechtzuerhalten.

Siliciumnitrid (Si ∙ N∙Siliciumnitrid hat ausgezeichnete mechanische Eigenschaften und chemische Stabilität. Weit verbreitet in Schutzfolien für Mikro-Gleitringdichtungen und Mikrosensoren. Es kann verhindern, dass die äußere Umgebung die innere Struktur des Sensors korrodiert, und wenn es als Gleitringdichtung verwendet wird, kann es bestimmten Druck standhalten und verschleißfest sein.

Polydimethylsiloxan (PDMS): PDMS hat eine gute Flexibilität und Biokompatibilität. Es hat breite Anwendungen in mikrofluidischen Chips und flexiblen mikroelektromechanischen Systemen. Zum Beispiel kann PDMS in mikrofluidischen Chips leicht Mikrokanäle durch Techniken wie weiche Lithographie erstellen, und aufgrund seiner Flexibilität kann es den Chip besser mit anderen Komponenten verbinden.

Polymethylmethacrylat (PMMA): PMMA, auch bekannt als organisches Glas, hat ausgezeichnete optische Eigenschaften und Zerspanbarkeit. Es ist in mikrooptischen Geräten wie Mikrolinsen und Mikroreflektoren weit verbreitet. Durch die Mikrobearbeitung kann PMMA zu verschiedenen Formen optischer Strukturen für Funktionen wie Lichtfokussierung und Reflexion verarbeitet werden.

Silizium ist das am häufigsten verwendete Material in der Mikrobearbeitung. Da es gute mechanische Eigenschaften hat, kann seine Härte und Festigkeit die Anforderungen vieler Mikrostrukturen erfüllen. Mittlerweile ist Silizium ein Halbleitermaterial mit umfangreichen Anwendungen in der Mikroelektronik und mikroelektromechanischen Systemen (MEMS).

Es kann als Isolierschicht oder Opferschicht verwendet werden. In der Mikrobearbeitung ist Siliziumdioxid ein ausgezeichnetes Isolationsmaterial, wenn elektrische Isolation zwischen leitfähigen Schichten erforderlich ist. Zum Beispiel kann bei der Herstellung von Mikrokondensatoren Siliziumdioxid als dielektrische Schicht die Leistung des Kondensators effektiv steuern. Als Opferschicht kann sie verwendet werden, um suspendierte Strukturen durch selektives Ätzen und andere Verfahren herzustellen.Zum Beispiel, wenn suspendierte Elektroden für mikromechanische Schalter hergestellt werden, nachdem die Siliziumdioxid-Opferschicht weggeätzt wurde, können die Elektroden auf dem Substrat aufgehängt werden.